硅钼棒在氧化气氛下、使用温度为1800℃，硅钼棒电热元件的电阻随着温度升高而迅速增加，当温度不变时电阻值稳定。在正常情况下元件电阻不随使用时间的长短而发生变化，因此，新旧硅钼棒电热元件可以混合使用。硅钼棒具有高温抗氧化性，在高温气氛下，原件的表面生成一层致密的石英SiO2保护层以防止MOSi2继续氧化。当元件温度大于1700度、熔点1710度的SIO2保护层熔融，由于表面张力的作用，SIO2熔聚成滴，而失去保护作用。元件在氧化气氛下在继续使用时，SiO2保护层重新生成，利于元件长期高温使用 。